Прочие документы Классификатор средств измерений по МИ

Для воспроизведения перемещений при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, оптических интерферометров, контактных систем измерения размеров и перемещений в нанометровом диапазоне.

Для воспроизведения перемещений в латеральной плоскости при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, вертикальных сканирующих интерферометров.

Для для хранения и передачи единицы длины в диапазоне измерений (0,31...31) нм и поверки (калибровки) атомно-силовых и цифровых интерференционных микроскопов и других средств измерений малой длины.

Для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^(-9)...10^9-4) м и поверки (калибровки) профилометра AlphaStep 200.

Для измерения погрешности микроскопов электронных растровых (РЭМ) в диапазоне 1,2...100 нм при их поверке (калибровке).