48096-11: Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A
Для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^(-9)...10^9-4) м и поверки (калибровки) профилометра AlphaStep 200.
Основные данные | |
---|---|
Госреестр № | 48096-11 |
Наименование | Мера высоты |
Модель | Tencor Instruments SHS-9400A |
Технические условия | тех.документация фирмы |
Класс СИ | 27.01 |
Год регистрации | 2011 |
Методика поверки | МП 48096-11 |
Межповерочный интервал | 1 год |
Страна-производитель | США |
Центр сертификации СИ | |
Наименование | ГЦИ СИ ВНИИМС |
Адрес | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
Руководитель | Кононогов Сергей Алексеевич |
Телефон | (8*095) 437-55-77 |
Факс | 437-56-66 |
Информация о сертификате | |
Срок действия сертификата | . . |
Номер сертификата | 44266 |
Тип сертификата (На серию или на партию) | Е |
Дата протокола | Приказ 6290 от 31.10.11 п.03 |
Производитель / Заявитель
Фирма "KLA-Tencor Corporation", США
США
160 Rio Robles San Jose, CA 95134-1809 тел. 408-475-3000; факс 408-875-3030 www.kla-tencor.com, One Technology Drive; Milpitas, California 95035; U.S.A. тел. +1-408-875-3000; Corporate факс +1-408-875-4144, E-mail: info@kla-tencor.com
Скачать
48096-11: Описание типа СИ
498 КБ Скачать