45265-10: Измеритель параметров рельефа поверхности HRP-240
Для контроля морфологических параметров поверхности полупроводниковых структур. Область применения - в производственной лаборатории ФГУП "ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е. Седакова".
Основные данные | |
---|---|
Госреестр № | 45265-10 |
Наименование | Измеритель параметров рельефа поверхности |
Модель | HRP-240 |
Технические условия | тех.документация фирмы |
Класс СИ | 27.01 |
Год регистрации | 2010 |
Методика поверки | МП ВНИИОФИ |
Межповерочный интервал | 1 год |
Страна-производитель | США |
Центр сертификации СИ | |
Наименование | ГЦИ СИ ВНИИОФИ |
Адрес | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
Руководитель | Иванов Вячеслав Семенович |
Телефон | (8*095) 437-56-33 |
Факс | 437-31-47 |
Информация о сертификате | |
Срок действия сертификата | . . |
Номер сертификата | 40913 |
Тип сертификата (На серию или на партию) | Е |
Дата протокола | 03д2 от 29.07.10 п.294 |
Производитель / Заявитель
Фирма "KLA-Tencor Corporation", США
США
160 Rio Robles San Jose, CA 95134-1809 тел. 408-475-3000; факс 408-875-3030 www.kla-tencor.com, One Technology Drive; Milpitas, California 95035; U.S.A. тел. +1-408-875-3000; Corporate факс +1-408-875-4144, E-mail: info@kla-tencor.com
Скачать
45265-10: Описание типа СИ
193.8 КБ Скачать